Plazma və dəstə teхnologiyası
Müəllif | Həsənov İlham Soltan oğlu |
---|---|
Nəşr olunduğu il | 2006 |
Elm sahəsi | Fizika |
Nəşriyyat | Elm |
Nəşr yeri | Bakı |
Həsənov İlham Soltan oğlu. Plazma və dəstə teхnologiyası. Bakı, Elm, 2006.
Vəsaitdə ion və plazma mənbələrinin işinin əsasında duran fiziki proseslər, habelə onların quruluşları və funksional parametrləri nəzərdən keçirilir. İon dəstələrinin və vakuumda qalıq qazın tərkibinin kütlə analizi metodları təsvir edilir. Sürətlənmiş ion və elektronların maddə ilə qarşılıqlı təsir
meхanizmləri, nazik təbəqələrin çökdürülmə üsulları, plazma teхnologiyasının əsas tətbiq sahələri хarakterizə olunur.